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    研究員開發新型Micro LED轉移工藝,>75000顆/次

        作者:宏拓新軟件
        發布日期:2023-08-28         
    閱讀:18     
     
     

    近日,英國斯特拉思克萊德大學(University of Strathclyde)的研究者宣布開發了一項Micro LED新型轉移工藝:連續滾輪轉印技術,可在一次轉印中精準地轉移超75000顆Micro LED,并針對轉移的數量和良率開發了自動計量系統。

    a) 滾輪轉印設備示意圖;b) 轉印制程(左到右),器件從供體釋放到轉移頭,再放置到接收芯片上

    研究人員表示,這項工藝可以實現Micro LED的巨量集成,可在一次轉印中轉移一個320x240像素陣列,相當于75000顆以上的Micro LED,相對位置精度達亞微米級,而且能夠保持像素陣列的幾何結構,像素空間定位誤差與設計布局的偏差控制1μm以內。

    另外,研究者還采用了基于簡單光學顯微鏡的自動亞微米級精準計量系統,用于評估如此大規模數量的器件,同時還可以評估良率。

    除了Micro LED巨量轉移,該工藝還可用于其他類型的設備,包括硅和印刷電子設備,如柔性和可穿戴電子設備、智能包裝和射頻識別標簽;同時,該工藝在光伏設備制造、藥物輸送系統、生物傳感器和組織工程等生物醫學應用中也具有應用潛力。

    目前,這篇論文已發表在《光學材料快報》上,論文鏈接是:https://opg.optica.org/ome/fulltext.cfm?uri=ome-13-8-2236&id=532711。(LEDinside Janice編譯)

     

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